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探針測量是通過監(jiān)測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。
KOSAKA 臺階儀（探針臺）具有以下特點：
二維／三維表面粗度解析及臺階測定，可實現高精度、高辨識能力及*的安全性。
用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細形狀臺階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應軟質樣品表面測定。
具備載物臺旋轉功能，便于定位下針位置。
高精度 • 高穩(wěn)定性 • 功能超群。
FPD 基板 • 硅片 • 硬盤等
微細形狀、段差、粗糙度等測量。
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